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特性 P66.X60一維X向壓電納米定位臺 60μm
應用
• 光盤驅動測試 開閉環版本可選
傳感器使用全橋配置已消除熱漂移,使得該系列納米定位臺可以實現較高的線性度與重復度。
P66.X60一維X向壓電納米定位臺 60μm
型號 | 尾綴S-閉環 尾綴K-開環 | P66.X60S | P66.X60K | 單位 |
運動自由度 | X | X | ||
行程(0~120V) | 48 | 48 | μm±20% | |
行程(0~150V) | 48 | 48 | μm±20% | |
傳感器類型 | SGS | - | ||
閉/開環分辨率 | 2 | 0.8 | nm | |
閉環線性度 | 0.1 | - | %F.S. | |
閉環重復定位精度 | 0.05 | - | %F.S. | |
俯仰/偏航/滾動 | <20 | <20 | µrad | |
推/拉力 | 160/16 | 160/16 | N | |
運動方向剛度 | 2.8 | 2.8 | N/μm±20% | |
空載諧振頻率 | 1.3 | 1.3 | kHz±20% | |
閉/開環空載階躍時間 | 10 | 1.6 | ms±20% | |
閉環空載 工作頻率 | 10%行程 | 200 | 200 | Hz±20% |
行程 | 20 | 20 | ||
大承載 | 6 | 6 | kg | |
靜電容量 | 7.2 | 7.2 | μF±20% | |
材質 | 鋁 | 鋁 | ||
重量 | 190 | 190 | g±5% |
哈爾濱芯明天科技有限公司是專注于壓電納米運動與控制系統的研發、生產和銷售的高新技術企業,提供基于壓電陶瓷微位移技術的微米級行程、納米級定位精度的直線運動產品,毫弧度級偏轉角度、納弧度級偏轉精度的角度運動產品與配套運動控制產品以及相關解決方案,是中國壓電納米定位行業開發、創新、開拓的先鋒。
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